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仪器设备技术特点：

扫描电子显微镜可视为超级放大镜，放大倍数为几十-几十万倍之间（取决于样品的性质和状态）。扫描电镜图像是指二次电子像，也叫形貌像，来自样品表面几个纳米的薄层中，是研究样品表面形貌的最有用的工具。能谱是扫描电镜的主要附件，可对样品进行元素的定性和定量分析。与二次电子像相结合可实现对样品的形貌、结构和成分的综合分析。

配备日立Regulus8100冷场发射扫描电镜，放大倍率20~100万倍，形貌像分辨率可达几个纳米，能谱分析最小尺寸约为零点几个微米。

分析检测内容：

扫描电子显微镜主要用于纳米尺度的催化剂、高分子材料等固体的表面、断面的微观形貌研究。能谱可在不损坏样品的情况下，快速对样品表面的微小区域进行元素的定性和定量分析。

日立Regulus8100冷场发射扫描电镜